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半導(dǎo)體集成電路的高速發(fā)展是潔凈度等級(jí)的擴(kuò)大和控制微粒粒徑日益嚴(yán)格的重要標(biāo)志。

半導(dǎo)體凈化車(chē)間設(shè)計(jì)的設(shè)計(jì)范圍包括：裝修方案（圍護(hù)、地面防水保溫處理），暖通方案（空調(diào)設(shè)備、風(fēng)管、水管等），特氣供應(yīng)方案（特氣柜含保險(xiǎn)控制、房間氣體監(jiān)測(cè)、EP級(jí)管道及BA級(jí)管道、供氣管路尾氣處理），壓縮空氣方案，廢氣處理方案（儀器設(shè)備POU處理、房間排風(fēng)廢氣處理），電氣方案（空調(diào)設(shè)備動(dòng)力配電等），弱電工程，集成控制智能平臺(tái)，純水方案（冷卻水、去離子水、超純水、水管等），廢水處理。

一、我國(guó)潔凈廠(chǎng)房、潔凈室的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范主要有：

1. GB50073 潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范

2. GB50457 醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范

3. GB50472電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范

4. GB50591 潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范

5. GB50333醫(yī)院手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范

6. GB50346生物安全實(shí)驗(yàn)室建筑技術(shù)規(guī)范

二、結(jié)構(gòu)圍護(hù)工程

墻板及吊頂：本工程隔墻采用企口型機(jī)制玻鎂巖棉夾芯板0.426，玻鎂巖棉彩鋼板符合潔凈廠(chǎng)房二級(jí)消防要求，玻鎂巖棉彩鋼夾芯板具有1000℃的耐火性能，耐火等級(jí)達(dá)到A級(jí)。巖棉密度：≥1000kg/m3；導(dǎo)熱系數(shù)：≤0.046w/m.k；燃燒性能：A級(jí)（不燃）。耐火極限為30~120分鐘。廣泛應(yīng)用于食品、電子、醫(yī)藥、飲料、生物研究等行業(yè)。

地板：車(chē)間內(nèi)采用防靜電型PVC地板，其中千級(jí)和百級(jí)車(chē)間采用防靜電型架高鋼板，其它為普通型PVC地板。PVC地板是當(dāng)今世界上非常流行的一種新型輕體地面裝飾材料，也稱(chēng)為“輕體地材”使用非常廣泛，比如家庭、醫(yī)院、學(xué)校、辦公樓、工廠(chǎng)、公共場(chǎng)所、超市、商業(yè)等各種場(chǎng)所。

三、暖通工程

設(shè)備：空調(diào)制冷負(fù)荷：經(jīng)統(tǒng)計(jì)計(jì)算，總冷負(fù)荷約500KW。采用恒溫恒濕潔凈空調(diào)，夏季采用磁懸浮水冷機(jī)組，冬季采用廠(chǎng)區(qū)鍋爐熱水供熱。

風(fēng)管：風(fēng)管采用共板法蘭風(fēng)管。

水管：空調(diào)水管采用無(wú)縫鋼管。水泵采用星-三角降壓?jiǎn)?dòng)。

四、特種氣體工程

工藝氣體種類(lèi)多，純度高，并且易燃易爆有毒。安全問(wèn)題突出，為保證系統(tǒng)的安全和穩(wěn)定可靠，建議采用進(jìn)口成熟產(chǎn)品。

因?yàn)?/span> MOCVD 生長(zhǎng)使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物質(zhì)，并且要生長(zhǎng)多組分、大面積、薄層和超薄層異質(zhì)材料，因此在MOCVD 系統(tǒng)的設(shè)計(jì)思想上，通常要考慮系統(tǒng)密封性要好，流量、溫度控制要明確，組分變換要迅速，系統(tǒng)要緊湊等。核心工作是氣體輸運(yùn)系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng)。

五、空壓氣體工程

螺桿式空壓機(jī)組主要主要有以下系統(tǒng)組成：空氣流程系統(tǒng)、潤(rùn)滑油流程系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、安全保護(hù)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及電氣線(xiàn)路。螺桿式空壓機(jī)組主要有壓縮機(jī)、電動(dòng)機(jī)、空氣濾清器、進(jìn)氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤(rùn)滑油冷卻器壓力開(kāi)關(guān)、單向閥、儲(chǔ)氣罐、壓力表、自動(dòng)排水器、安全閥等設(shè)備部件。另外在空壓機(jī)系統(tǒng)中大多配置冷干機(jī)和空氣干燥器。

六、廢氣工程

由于半導(dǎo)體工藝對(duì)操作室清潔度要求高，通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過(guò)程中揮發(fā)的各類(lèi)廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。廢氣排放也以揮發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類(lèi)：酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有毒氣體。

七、生產(chǎn)廢氣排放源及組成表

廢氣來(lái)源組成外延工序SiH4、SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、AsH3、B2H6、PH3、HCl、H2清洗工序H2SO4、H2O2、HNO3、HCl、HF、H3PO4、NH4F、NH4OH 等光刻工序異丙醇、醋酸丁酯、甲苯、Cl2、BCl3、C2F6、C3F8、CF4、SF6、HF、HCl、NO、C3H8、HBr、H2S 等化學(xué)機(jī)械拋光NH4OH、NH4Cl、NH3、KOH、有機(jī)酸鹽化學(xué)氣相沉淀SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、SiF4、CF4、B2H6、PH3、NF3、HCl、HF、NH3擴(kuò)散、離子注入BF3、AsH3、PH3、H2、SiH4、SiH2Cl2、BBr3、BCl3、B2H6金屬化工序SiH4、BCl3、AlCl3、TiCl4、WF6、TiF4、SiF4、AlF3、BF3、SF6等 對(duì)酸性氣體、堿性氣體的處理一般都采用濕式洗滌塔技術(shù)。

對(duì)于有機(jī)廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理方法。因?yàn)榘雽?dǎo)體工藝過(guò)程中有機(jī)廢氣具有排放流量大（通常大于11039 m3/小時(shí)）和濃度低（通常小于25ppmv）的特點(diǎn)，使用其它的處理技術(shù)難以達(dá)到令人滿(mǎn)意的處理效率。沸石濃縮轉(zhuǎn)輪后再吸附或焚燒。